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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：公开一种叠加控制系统。在实施例中，所述系统可包含控制器，所述控制器经配置以：基于记录计划POR取样图在至少一个先前批次样本的样本的第二层上获取一组反馈叠加测量值；基于所述组反馈叠加测量值产生参考晶片叠加图；基于前馈取样图在当前批次样本的一组样本的第一层上获取一组前馈叠加测量值；基于所述组前馈叠加测量值产生用于所述当前批次样本的所述组样本的一组人工叠加向量图；及致使光刻工具基于所述参考晶片叠加图及所述组人工叠加向量图制造所述当前批次样本的样本的第二层。
主权项：1.一种叠加控制系统，其包括：控制器，其包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行存储于存储器中的一组程序指令，所述组程序指令经配置以致使所述一或多个处理器：基于记录计划POR取样图在至少一个先前批次样本的一或多个样本的第二层上获取一组反馈叠加测量值，其中所述POR取样图包含多个点；基于所述组反馈叠加测量值产生参考晶片叠加图；基于前馈取样图在当前批次样本的一组样本的第一层上获取一组前馈叠加测量值，其中所述前馈取样图包含多个点；将与所述前馈取样图的每一点相关联的叠加校正向量应用于所述参考晶片叠加图内以基于所述组前馈叠加测量值产生用于所述当前批次样本的所述组样本的一组人工叠加向量图；及产生一或多个控制信号，所述一或多个控制信号经配置以致使光刻工具基于所述参考晶片叠加图及所述组人工叠加向量图制造所述当前批次样本的一或多个样本的第二层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 晶片间叠加前馈控制及批次间反馈控制的系统及方法
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