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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：本申请公开了一种基于螺旋变换的涡旋二色性暗场共焦显微测量装置，涉及光学精密测量技术领域，相反阶涡旋光束产生模块用于产生混合涡旋光束，样品扫描模块用于利用混合涡旋光束照射待测样品的扫描位置，得到样品反射光束，螺旋变换模块用于对样品反射光束进行空间分离，得到空间分离光束，多阶探测模块用于对空间分离光束进行探测，得到扫描位置的涡旋二色性信号强度，当待测样品的扫描位置无缺陷时，涡旋二色性信号强度为0，当待测样品的扫描位置存在缺陷时，涡旋二色性信号强度不为0，且涡旋二色性信号强度的正负性与缺陷的左旋手性和右旋手性分别对应，从而可以探索三维集成电路层间缺陷的手性特性。
主权项：1.一种基于螺旋变换的涡旋二色性暗场共焦显微测量装置，其特征在于，所述基于螺旋变换的涡旋二色性暗场共焦显微测量装置包括：相反阶涡旋光束产生模块，用于产生混合涡旋光束；所述混合涡旋光束包括正m阶轨道角动量和负m阶轨道角动量，m为常数；样品扫描模块，用于利用所述混合涡旋光束照射待测样品的扫描位置，得到所述扫描位置的样品反射光束；所述待测样品为三维集成电路；所述样品反射光束包括正m阶轨道角动量和负m阶轨道角动量；螺旋变换模块，用于对所述样品反射光束进行空间分离，得到空间分离光束；所述空间分离光束包括正m阶轨道角动量对应的第一光束和负m阶轨道角动量对应的第二光束，所述第一光束和所述第二光束的位置相分离；多阶探测模块，用于对所述空间分离光束进行探测，得到所述扫描位置的涡旋二色性信号强度；所述涡旋二色性信号强度用于表征所述扫描位置是否具有缺陷，以及具有缺陷时缺陷的手性特性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 基于螺旋变换的涡旋二色性暗场共焦显微测量装置
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