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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：本申请公开了一种基于多分数阶角动量解调的暗场共焦显微测量装置及方法，涉及共焦显微测量技术领域，该装置包括：调制照明模块和信号采集解调模块；在调制照明模块中，通过不同分数阶的涡旋相位图，调制得到不同分数阶的涡旋光，以对待测样品进行扫描，不同分数阶的涡旋光照射在待测样品上后反射出去；通过信号采集解调模块采集反射光并生成暗场图像；最后，根据不同分数阶的涡旋光下生成的暗场图像进行互相关处理，即可得到高信噪比数据；本申请提供的上述装置采用不同分数阶涡旋光照明样品并进行暗场探测，可同时获取缺陷对多阶涡旋分量的响应，提高了微小缺陷的信号强度，利用互相关算法能够有效抑制共模噪声，凸显纳米级缺陷微弱的相关信息。
主权项：1.一种基于多分数阶角动量解调的暗场共焦显微测量装置，其特征在于，包括：调制照明模块、待测样品、三维电动位移台和信号采集解调模块；所述调制照明模块，用于通过不同分数阶的涡旋相位图，调制得到不同分数阶的涡旋光，以对所述待测样品进行扫描，不同分数阶的所述涡旋光照射在所述待测样品上后反射出去；所述待测样品固定在所述三维电动位移台上，所述三维电动位移台用于带动所述待测样品在所述调制照明模块的视场内进行移动；所述信号采集解调模块，用于：采集不同分数阶的涡旋光照射在所述待测样品上后反射出的反射光，并生成暗场图像；针对任一分数阶的所述涡旋光，所述信号采集解调模块生成一张暗场图像；根据不同分数阶的涡旋光下生成的暗场图像进行互相关处理，得到高信噪比数据。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 基于多分数阶角动量解调的暗场共焦显微测量装置与方法
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