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申请/专利权人：华北水利水电大学
摘要：本发明公开了一种氧化铝湿敏传感器及其制备方法，属于传感器技术领域，本发明在硅衬底下表面设置有背面金属电极层，所述硅衬底的氧化硅层上表面设置有多孔氧化铝层，贯穿所述氧化铝层开设有第一通孔；所述多孔氧化铝层上表面设置有ZnO层，所述ZnO层上表面设置有ZnO:Al层，贯穿所述ZnO层和ZnO:Al层开设有第二通孔；所述ZnO:Al层上表面设置有正面金属电极层，所述背面金属电极层和正面金属电极层分别设置有金属焊盘电极。
主权项：1.一种氧化铝湿敏传感器，包括硅衬底1，所述硅衬底1上表面设置有氧化硅层2，所述氧化硅层2上设置有多孔氧化铝层3，其特征在于，所述多孔氧化铝层3开设有第一通孔31；于所述多孔氧化铝层3磁控溅射ZnO层4，于所述ZnO层4磁控溅射ZnO:Al层5；贯穿所述ZnO层4和ZnO:Al层5开设有第二通孔41；所述第二通孔41与第一通孔31连通，且第二通孔41的孔径大于所述第一通孔31；所述ZnO:Al层5上设置有正面金属电极层6，所述硅衬底1下表面设置有背面金属电极层7，所述背面金属电极层和正面金属电极层分别沉积金属焊盘电极8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华北水利水电大学 一种氧化铝湿敏传感器及其制备方法
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