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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：用于为与带电粒子束系统的样品相关联的缺陷检测和缺陷位置分仓提供束的装置、系统和方法。图像分析的方法可以包括获得样品的图像，标识在样品的图像中捕获的特征，根据所标识的特征的设计布局生成模板图像，将样品的图像与模板图像进行比较，以及基于比较来处理图像。在一些实施例中，图像分析的方法可以包括获得样品的图像，标识在样品的获得的图像中捕获的特征，将获得的图像映射到根据所标识的特征的设计布局生成的模板图像，以及基于映射来分析图像。
主权项：1.一种非暂时性计算机可读介质，存储指令集，所述指令集能够由计算设备的一个或多个处理器执行，以使所述计算设备执行用于图像分析的方法，所述方法包括：获得样品的图像；标识在所述样品的所述图像中捕获的特征；根据所标识的所述特征的设计布局生成模板图像；将所述样品的所述图像与所述模板图像进行比较；以及基于所述比较来处理所述图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 用于带电粒子系统中缺陷位置分仓的系统和方法
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