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申请/专利权人：安徽精石技术有限公司
摘要：本发明公开了一种玻璃基片化学机械抛光系统，包括旋转底座、旋转压件和清洁组件，旋转底座包括固定座、外旋转圈、内旋转圈和移动齿块，固定座上表面安装有能够被固定座内电机驱动而进行轴向旋转的下磨圈，移动齿块分别圆周排列设置于外旋转圈的外围壁内侧和内旋转圈的内围壁外侧，旋转压件被吊装架悬吊于旋转底座上方，并被安装于吊装架的液压伸缩转轴驱动而进行竖直移动和轴向旋转，旋转压件底部所安装的上磨圈被竖移悬吊件安装于下圆腔内，清洁组件设置于下圆腔上端连通的上圆腔内，清洁组件能够自动拾起玻璃基片并冲洗，整个拾取和冲洗清洁过程无需用户手动参与，在节省用工的同时能够更加安全快捷地对玻璃基片进行抛光后的清洁处理。
主权项：1.一种玻璃基片化学机械抛光系统，包括旋转底座1、旋转压件2和清洁组件3，其特征在于：所述旋转底座1包括固定座11、外旋转圈12、内旋转圈13和移动齿块14，所述固定座11上表面安装有能够被固定座11内电机驱动而进行轴向旋转的下磨圈15，所述移动齿块14分别圆周排列设置于外旋转圈12的外围壁内侧和内旋转圈13的内围壁外侧；所述旋转压件2被吊装架4悬吊于旋转底座1上方，并被安装于所述吊装架4的液压伸缩转轴5驱动而进行竖直移动和轴向旋转，所述旋转压件2底部所安装的上磨圈22被竖移悬吊件23安装于下圆腔201内，所述清洁组件3设置于下圆腔201上端连通的上圆腔202内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽精石技术有限公司 一种玻璃基片化学机械抛光系统
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