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申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种抛光头安装定位装置及抛光头安装方法，属于化学机械抛光技术领域，抛光头安装定位装置包括底座、调节座和定位件，底座顶部开设有安装腔，安装腔用于容纳弹性膜；调节座底部开设有适配于底座的定位腔，底座插设于定位腔内；定位件设于定位腔内，并同轴线连接于调节座，定位件具有插设于上夹持环中心孔的定位部，定位部与调节座同轴线设置，且定位件开设有容纳下夹持环的定位槽，定位槽与定位件同轴设置。本发明提供的抛光头安装定位装置及抛光头安装方法，旨在解决现有技术中弹性膜无法保证与保持环和夹持环等部件同轴安装，进而导致晶圆被弹性膜吸附固定后受力不均，造成晶圆研磨效果不佳、材料去除率低下的问题。
主权项：1.抛光头安装定位装置，其特征在于，包括：底座，顶部开设有安装腔，所述安装腔用于容纳弹性膜；调节座，底部开设有适配于所述底座的定位腔，所述底座插设于所述定位腔内；以及定位件，设于所述定位腔内，并同轴线连接于所述调节座，所述定位件具有插设于上夹持环中心孔的定位部，所述定位部与所述调节座同轴线设置，且所述定位件开设有容纳下夹持环的定位槽，所述定位槽与所述定位件同轴设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京晶亦精微科技股份有限公司 抛光头安装定位装置及抛光头安装方法
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