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申请/专利权人：苏州赛美达半导体科技有限公司

摘要：本发明涉及晶圆夹具技术领域，具体涉及一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具，包括底座，所述底座的顶部外壁转动连接有通道三，所述主吸板的底部外壁固定连接有圆形安装板，所述圆形安装板的内壁滑动连接有两个限位保护杆，所述圆形安装板的外壁开设有四个气口三，所述圆形安装板的外壁转动连接有环形通道一，所述环形通道一的外壁固定连接有两个呈对称分布的通气管一，所述安装环一的外壁设置有两个呈圆周阵列分布的两用机构。综上所述，本发明通过托杆子阻碍浮子的位移从而实现气体通道的更换，使得副吸板既可以辅助蓝膜与晶圆的贴合，还可以将贴好蓝膜的晶圆进行翻面，便于后续的切割。

主权项：1.一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具，包括底座10，其特征在于：所述底座10的顶部外壁转动连接有通道三11，所述通道三11的顶部外壁转动连接有通道四12，所述通道四12的顶部外壁固定连接有通气筒6，所述通气筒6的内壁滑动连接有密封滑板一26，所述密封滑板一26的内壁滑动连接有固定环板46，所述固定环板46通过设置的连杆与通气筒6的内壁固定连接，所述固定环板46的顶部外壁固定连接有主吸板3，所述主吸板3的外壁滑动连接有安装环一2，所述安装环一2的底部外壁固定连接有传动齿环27，所述传动齿环27的外壁啮合有齿轮五48，所述齿轮五48的外壁固定连接有电机二49，所述电机二49的外壁固定连接有固定板五47，所述固定板五47的外壁与主吸板3的底部固定连接，所述固定环板46的内部设置有通道五39，所述通道五39与主吸板3的底部外壁固定连接，所述通道五39的内壁滑动连接有浮子40，所述浮子40的内壁开设有若干均匀分布的气口一41，所述浮子40的下方开设有三个均匀分布的气口二45，所述通道五39的外壁连通有两个呈对称分布的通道六43，两个通道六43远离通道五39的一端均固定连接有连接口二51，所述密封滑板一26的外壁转动连接有安装环二42，两个所述通道六43的下方设置有同一个转动环一24，所述转动环一24与通气筒6的外壁转动连接，所述主吸板3的底部外壁固定连接有圆形安装板25，所述圆形安装板25的内壁滑动连接有两个限位保护杆4，所述圆形安装板25的外壁开设有四个气口三50，所述圆形安装板25的外壁转动连接有环形通道一5，所述环形通道一5的外壁固定连接有两个呈对称分布的通气管一13，所述安装环一2的外壁设置有两个呈圆周阵列分布的两用机构。

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