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低收缩率的晶圆切割用胶带的制备方法 

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申请/专利权人:阿梓萨科技(深圳)有限公司

摘要:本发明公开低收缩率的晶圆切割用胶带的制备方法,具体包括如下步骤:步骤1,合成葡萄糖基超支化大分子;步骤2,合成丙烯酸异辛酯低聚物;步骤3,根据步骤1和步骤2所得产物制备晶圆切割胶带。本发明采用葡萄糖制备超支化大分子,获得了低收缩率的胶,胶固化剥离时无残留。同时胶中引入了丙烯酸,不仅与超支化大分子发生反应,并提高了晶圆切割胶的粘度;胶中引入丙烯酸异辛酯使得胶固化后更容易剥离,引入纤维素纳米晶降低剥离力。

主权项:1.低收缩率的晶圆切割用胶带的制备方法,其特征在于:具体包括如下步骤:步骤1,合成葡萄糖基超支化大分子;所述步骤1的具体过程为:步骤1.1,取5g-10g葡萄糖化合物和0.1g-0.2g对甲基苯磺酸溶解在四氢呋喃溶剂中,然后加入30g-60g的2,2-双(羟甲基)丙酸,在80℃-120℃条件下反应12h-24h,60-120℃旋蒸得到第一步前驱体;步骤1.2,将步骤1.1得到的第一步前驱体加入到25g-50g的环氧氯丙烷中,加入1mL-2mL三乙胺45℃-90℃条件下搅拌6h-12h,反应结束后60℃-120℃旋蒸去除未反应的原料,得到葡萄糖基超支化大分子;步骤2,合成丙烯酸异辛酯低聚物;所述步骤2的具体过程为:取5mL-10mL丙烯酸异辛酯分散在5mL-10mL异丙醇溶液中,加入0.001g-0.005g的2,4,6-三甲基苯甲酰二苯氧磷,加热到30℃-60℃反应1h-3h,反应结束后通过Al2O3填充柱进行柱分离,获得丙烯酸异辛酯低聚物;步骤3,根据步骤1和步骤2所得产物制备晶圆切割胶带。

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权利要求:

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