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申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司
摘要：本发明提供一种用于包装盒内晶圆取放的方法、机械手臂和晶圆处理设备，包装盒上设置有向上凸起的多个卡片，晶圆放置在多个卡片围成的放置区域内，且其上覆盖有保护纸，方法包括以下过程：提供一能够移动的机械手臂，使机械手臂具有一能够下移至放置区域内且吸附力可调的吸附拾取端，并同时具有一能够随吸附拾取端下移至多个卡片之间缺口内的臂体；移动机械手臂使臂体进入缺口内，并使吸附拾取端到达保护纸上方设定位置；吸附保护纸，将保护纸转移至设定的保护纸放置位；移动机械手臂使臂体进入缺口内，并使吸附拾取端到达晶圆上方设定位置；吸附晶圆，将晶圆转移至设定的晶圆放置位。本发明提高了装载效率，降低破片风险。
主权项：1.一种用于包装盒内晶圆取放的方法，所述包装盒上设置有向上凸起的多个卡片，所述晶圆放置在所述多个卡片围成的放置区域内，且其上覆盖有保护纸，其特征在于，所述方法包括以下将所述晶圆从所述包装盒内取出的过程：提供一能够移动的机械手臂，使所述机械手臂具有一能够下移至所述放置区域内且吸附力可调的吸附拾取端，并同时具有一能够随所述吸附拾取端下移至所述多个卡片之间缺口内的臂体；移动所述机械手臂使所述臂体进入所述缺口内，并使所述吸附拾取端到达所述保护纸上方设定位置；将所述吸附拾取端设置为具有多个抽吸孔的真空吸附装置，并通过控制真空吸附气路上的阀门开度来改变吸附力的大小；控制所述吸附拾取端提供第一吸附力，使所述吸附拾取端仅能吸附所述保护纸，并将所述保护纸转移至设定的保护纸放置位；移动所述机械手臂使所述臂体进入所述缺口内，并使所述吸附拾取端到达所述晶圆上方设定位置；调整所述吸附拾取端提供第二吸附力，使所述吸附端仅能吸附所述晶圆，并将所述晶圆转移至设定的晶圆放置位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 用于包装盒内晶圆取放的方法、机械手臂和晶圆处理设备
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