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申请/专利权人：安徽禾臣新材料有限公司

摘要：本发明公开了一种高精度石英基板涂胶及其生产工艺，涉及石英基本涂胶技术领域。一种高精度石英基板涂胶，所述涂胶设置有双层结构，分别为与石英基板材料3的外表面贴合的第一胶层以及与第一胶层连接的第二胶层，第二胶层的占宽比大于第一胶层的占宽比；所述第一胶层由以下重量份材料制成：耐高温硅树脂10‑20份、甲酚醛树脂30‑50份、感光剂11‑13份和添加剂65‑70份。本发明提出的一种高精度石英基板涂胶及其生产工艺，涂胶设置有双层结构，在制备第一胶层的材料中增加了耐高温硅树脂材料，能耐高温，抗冲击，在对第二胶层进行加压时，第一胶层不易发生形变，保证只对第二胶层实现占宽增加，从而实现涂胶图形形状达到倒T型图形。

主权项：1.一种高精度石英基板涂胶的生产工艺，其特征在于：生产的涂胶设置有双层结构，分别为与石英基板材料的外表面贴合的第一胶层以及与第一胶层连接的第二胶层，第二胶层的占宽比大于第一胶层的占宽比；所述第一胶层由以下重量份材料制成：耐高温硅树脂10-20份、甲酚醛树脂30-50份、感光剂11-13份和添加剂65-70份；所述第二胶层由以下重量份材料制成：甲酚醛树脂50-60份、感光剂11-13份和添加剂65-70份，第二胶层使用的第二涂胶加工方法如下：制备甲酚醛树脂，向甲酚醛树脂中混合感光剂、添加剂和溶剂，最后过滤分装；高精度石英基板涂胶的生产工艺，包括以下步骤：S1清洗：将待加工的石英基板放入到清洗剂中清洗，清洗后的石英基板在吹干后，进行烘干处理，送至匀胶处进行匀胶；S2预处理：吸附石英基板的下表面，在石英基板的上表面滴加丙二醇甲醚醋酸酯作为稀释剂，带动石英基板旋转，丙二醇甲醚醋酸酯在石英基板的表面铺平，旋转时间为20-30s；S3匀第一层胶：第一胶层材料按照比例制备成第一涂胶，在石英基板的表面涂布第一涂胶；S4匀第二层胶：第二胶层材料按照比例制备成第二涂胶，在第一涂胶的基础上涂布第二涂胶；S5曝光与显影：利用掩膜版对第一涂胶层和第二涂胶层同时进行曝光处理，采用正显影液对曝光后的第一涂胶层和第二涂胶层进行正显影，分别形成第一胶层和第二胶层；S6增加占宽比：为石英基板加热，并在石英基板的表面覆盖一层在PDMS垫片，PDMS垫片的上表面加盖薄纸和玻璃压片，并对玻璃压片施压，等到降温后，将玻璃压片和薄纸均取下，完成胶层加工。

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