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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种基板处理装置，能够减少因搬运辊引起的筋状的处理斑痕，并且还难以产生在基板的上表面形成积液的处理液的一部分向搬运辊的表面流出或者附着于搬运辊的泡上升到基板的上表面的问题。搬运机构20具有多个搬运辊21。搬运辊通过一边使在外周面上部分地形成的接触部53与基板9的下表面接触一边旋转，来搬运基板。接触部53与基板的下表面的接触位置随着搬运辊的旋转而在宽度方向上变化。由此，能够减少因搬运辊引起的筋状的处理斑痕。另外，由于搬运辊与基板的下表面的接触面积小，因此，还难以产生在基板的上表面形成积液的处理液的一部分向搬运辊的表面流出或者附着于搬运辊的泡上升到基板的上表面的问题。
主权项：1.一种显影装置，一边搬运基板一边利用显影液对形成于所述基板的上表面的抗蚀剂膜进行显影，其中，具有：搬运机构，一边将基板支撑为水平的姿势，一边沿作为水平方向的搬运方向搬运基板；以及显影液供给部，通过仅向由所述搬运机构搬运的基板的上表面以及下表面中的基板的上表面供给所述显影液，在基板的上表面形成所述显影液的积液，所述搬运机构具有在所述搬运方向上隔开间隔地排列的多个搬运辊，所述搬运辊通过一边使在外周面上部分地形成的接触部与基板的下表面接触，一边以沿与所述搬运方向正交的作为水平方向的宽度方向延伸的轴为中心旋转，将基板向所述搬运方向的下游侧搬运，在所述搬运辊的外周面上，所述接触部的所述宽度方向的位置根据以所述轴为中心的周向的位置而变化。
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