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申请/专利权人：襄阳佳利鑫自动化设备有限公司
摘要：本实用新型涉及一种带有点胶区域净化功能的光刻匀胶机，包括底座，底座上设置有工作台，工作台的顶部设置有托盘以及两支撑杆，两支撑杆的顶部固定连接有连接板。该带有点胶区域净化功能的光刻匀胶机通过设置有清洁组件使其在进行使用的过程中能够有效的起到对托盘进行很好地清洁效果，避免了因残留有胶体或其他杂质，从而导致其影响下一次使用时的胶体均匀性和质量。此外，如果托盘上的残留物过多，还可能导致托盘与机器其他部分的摩擦增大，影响机器的正常运行。通过设置有夹持组件可有效的保证在对基片进行涂胶的过程中能够对基片起到良好的固定效果，避免了其在托盘转动的过程中导致脱落的情况发生。
主权项：1.一种带有点胶区域净化功能的光刻匀胶机，包括底座1，其特征在于：所述底座1上设置有工作台11，所述工作台11的顶部设置有托盘2以及两支撑杆12，两所述支撑杆12的顶部固定连接有连接板13，所述连接板13上设置有两清洁组件4；所述清洁组件4上设置有安装座41，所述安装座41的顶部固定连接有两导向杆44，两所述导向杆44均滑动连接于所述连接板13，两所述导向杆44的另一端均固定连接有限位块47，所述安装座41的顶部转动连接有调节丝杆45，所述调节丝杆45螺纹连接于所述连接板13，所述调节丝杆45的顶部固定连接有调节台46，所述安装座41的底部固定连接有清洁刷42。
全文数据：
权利要求：
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