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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明的载体沿第一搬送路径被搬送。对该载体内的多张基板进行处理。与第一搬送路径的起点相邻地设置有第一待机部。第一待机部将收纳有未处理的多张基板的载体移交到第一搬送路径的起点。与第一搬送路径的终点相邻地设置有第二待机部。第二待机部接收收纳有处理后的多张基板的载体。从该载体取出多张基板。从将第二待机部和第一待机部相连的待机搬送路径拾起使用后的载体，并进行清洗。清洗后的载体被返回到待机搬送路。
主权项：1.一种基板处理装置，其对多张基板进行预先设定的处理，该基板处理装置的特征在于，具备：载体，其构成为能够收纳上述多张基板；搬送机构，其将上述载体沿预先设定的第一搬送路径从该第一搬送路径的起点向终点搬送；处理单元，其设置于上述第一搬送路径，且在上述多张基板收纳于上述载体的状态下，对收纳于该载体的上述多张基板进行上述预先设定的处理；基板插入部，其将搬入上述基板处理装置的未处理的上述多张基板插入空的上述载体；第一待机部，其设置为与上述第一搬送路径的上述起点相邻，且构成为能够将收纳有未处理的上述多张基板的上述载体由上述基板插入部支撑，并移交到上述第一搬送路径的上述起点；第二待机部，其设置为与上述第一搬送路径的上述终点相邻，且构成为能够从上述第一搬送路径的上述终点接收并支撑收纳有处理后的上述多张基板的上述载体；基板取出部，其从收纳有由上述处理单元处理后的上述多张基板的上述载体取出处理后的上述多张基板；以及载体清洗部，其清洗上述载体，形成有将上述载体从上述第二待机部搬送到上述第一待机部的预先设定的第二搬送路径，上述载体清洗部从上述第二搬送路径拾起由上述基板取出部取出处理后的上述多张基板之后的空的上述载体，对所拾起的上述载体进行清洗，并将清洗后的上述载体返回至上述第二搬送路径。
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