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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：基板处理装置具备基板搬入搬出部、以及以从基板搬入搬出部沿第一方向并列地延伸的方式设置的搬送部及处理部。搬送部从基板搬入搬出部向第一方向搬送收纳未处理的基板的载体。处理部包含多个处理槽。在处理部中，将收纳有多个基板的载体向与第一方向相反的第二方向搬送。搬送的载体浸渍于贮存在多个处理槽的多个处理液中的至少一个。以俯视下与处理部相邻的方式，形成有维护空间。搬送部在俯视下与处理部及维护空间中的至少一部分重叠。
主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：基板搬入搬出部，其构成为能够搬入多个基板并且能够搬出上述多个基板；以及搬送部及处理部，其设置为从上述基板搬入搬出部向第一方向并列地延伸，上述搬送部具有依次排列于上述第一方向的第一端部及第二端部，上述搬送部构成为能够在上述第一方向上将载体从上述第一端部搬送至上述第二端部，该载体收纳搬入至上述基板搬入搬出部的上述多个基板，上述处理部具有依次排列于上述第一方向的第三端部及第四端部，并且具有设置于上述第三端部与上述第四端部之间的多个处理槽，上述处理部构成为能够将在上述搬送部中搬送至上述第二端部的上述载体在与上述第一方向相反的第二方向上从上述第四端部朝向上述第三端部搬送，并且使搬送的上述载体浸渍于贮存在上述多个处理槽的多个处理液中的至少一个，从而对收纳于上述载体的上述多个基板进行预先设定的处理，并将处理后的上述多个基板移交至上述基板搬入搬出部，以俯视下在与上述第一方向及第二方向交叉的第三方向上与上述处理部的至少一部分相邻的方式，形成有针对上述处理部的维护空间，上述搬送部在俯视下与上述处理部及上述维护空间中的至少一部分重叠。
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