龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江西兆驰半导体有限公司
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种用于已扩张晶圆的双晶检测方法及系统，方法包括：获取已扩张晶圆的扫描图像，以扫描图像的像素点为单位在扫描图像上建立全局坐标系；基于目标检测算法对扫描图像上的待测晶粒进行识别；根据识别框内的像素点的坐标确认待测晶粒的中心点坐标；根据待测晶粒的中心点坐标计算该待测晶粒到相邻待测晶粒的距离，得到每个待测晶粒到相邻待测晶粒的实际间距；遍历全部待测晶粒，将每个待测晶粒到相邻待测晶粒的实际间距与预设的标准间距对比，判断待测晶粒是否出现双晶。本发明可以避免因扩张间距波动、晶粒排列歪斜、晶圆上具有制程碎屑等因素引起的干扰，降低异常率，减少正常品过检损失，提高生产效益。
主权项：1.一种用于已扩张晶圆的双晶检测方法，其特征在于，所述方法包括：获取已扩张晶圆的扫描图像，以所述扫描图像的像素点为单位在所述扫描图像上建立全局坐标系；基于目标检测算法对所述扫描图像上的待测晶粒进行识别，其中，每个所述待测晶粒均对应有一识别框；根据所述识别框内的像素点的坐标确认所述待测晶粒的中心点坐标；根据所述待测晶粒的中心点坐标计算该所述待测晶粒到相邻所述待测晶粒的距离，得到每个所述待测晶粒到相邻所述待测晶粒的实际间距；遍历全部所述待测晶粒，将每个所述待测晶粒到相邻所述待测晶粒的实际间距与预设的标准间距对比，判断所述待测晶粒是否出现双晶。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江西兆驰半导体有限公司 一种用于已扩张晶圆的双晶检测方法及系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号