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申请/专利权人：扬州大学;无锡市锡山区半导体先进制造创新中心
摘要：一种提升视觉粗糙度测量精度的成像光源干扰消融装置及干扰消融方法，属于表面粗糙度或不规则性检测技术领域，装置由底板、横向支架、工作台、激光器、背板、纵向支架、分光镜和反射镜连接构成，当激光器发出光束后，依次经过分光镜、反射镜及待测量件后，被CCD相机捕捉到两个激光光斑，CCD相机与计算机相连，通过计算机显示器，实时观察和采集激光斑点。本发明干扰消融装置组成结构简单，测量过程中可对各部件之间的中心距进行微调，操作方便，能准确获取参考光斑和表面反射光斑的全参考图片，可有效消除入射光源亮度变化对粗糙度测量的影响，不仅对所有表面粗糙度测量有效，对视觉测距方面同样有效，测量结果更加精确，适用范围面较广。
主权项：1.一种提升视觉粗糙度测量精度的成像光源干扰消融装置，包括底板1和背板6；其特征在于，所述装置还包括：横向支架2，与背板6连接固定；激光器5，连接固定于所述横向支架2的一端，用于激光光束的发出；反射镜10，连接固定于所述横向支架2的另一端，用于激光光束的反射；分光镜9，活动连接于激光器5和反射镜10之间的横向支架2上，用于激光光束的分束；纵向支架8，分别与所述分光镜9和背板6连接固定；CCD相机11，活动连接于纵向支架8内，用于光束光斑的采集；工作台3，置于所述横向支架2的底部，用于待测量件4的放置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 扬州大学 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心 一种提升视觉粗糙度测量精度的成像光源干扰消融装置及干扰消融方法
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