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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
摘要：本发明的成像质量分析装置具备：分析执行部1，对设定在试样50上的二维或试样中的三维测量区域50内的多个微小区域执行规定的分析，收集数据；第1图像创建部21，用分析执行部1得到的数据创建分别反映试样50包含的特定的一个或多个成分分布的一个或多个第1分布图像；运算式存储部23，至少预先存储包含一个或多个特定成分作为要素的化学反应式、或包含该特定成分的量作为要素的计算式作为运算式；信号值计算部25，用根据用户指示从运算式存储部23获取的运算式，根据构成一个或多个第1分布图像的各微小区域的信号值，算出其他信号值；第2图像创建部26，基于计算结果创建第2分布图像。
主权项：1.一种成像分析装置，其特征在于，具备：分析执行部，对设定在试样上的二维的或试样中的三维的测量区域内的多个微小区域分别执行规定的分析并收集数据；第1图像创建部，使用通过所述分析执行部得到的数据，创建分别反映所述试样所包含的特定的多个成分的分布的多个第1分布图像；运算式存储部，至少预先存储包含所述多个特定的成分作为要素的化学反应式作为运算式；信号值计算部，使用根据用户的指示而从所述运算式存储部获取的运算式，根据构成所述多个第1分布图像的各微小区域中的信号值，分别算出其他信号值；第2图像创建部，基于所述信号值计算部的计算结果，创建第2分布图像。
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