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申请/专利权人：芜湖义柏载具精密技术有限公司
摘要：本实用新型公开一种晶圆盒新型进气扩散系统，包括壳体、设置在壳体上的进气端口以及设置在壳体内的气道，进气端口与气道连通，气道内设置有气道过滤膜，气道过滤膜与气道注塑一体成型，可以理解，壳体用于存放晶圆，惰性气体可从进气端口进入气道，经气道过滤膜过滤后排出以进入壳体，进一步地，壳体上还设置有出气端口，当惰性气体进入至壳体后，壳体中存在的空气、水汽可经出气端口排出，避免了晶圆被氧化，提高了晶圆的保存品质，此外，因气道过滤膜与气道注塑一体成型，这种一体成型的设置，与现有技术中气道过滤膜的焊接固定方式”相比，解决了气道过滤膜焊接良率低的技术问题，结构简单，降低了生成成本，且具有较强的气密性。
主权项：1.一种晶圆盒新型进气扩散系统，包括壳体1、设置在所述壳体1上的进气端口2以及设置在所述壳体1内的气道3，所述进气端口2与所述气道3连通，其特征在于，所述气道3内设置有气道过滤膜31，所述气道过滤膜31与所述气道3注塑一体成型。
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权利要求：
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