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申请/专利权人：思特威(上海)电子科技股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种像素掺杂扩散的测试结构，测试结构包括：提供测试晶片，测试晶片内设有掺杂区；测试晶片的正面设有测试调制结构，以对测试晶片的掺杂进行调制。通过在测试晶片的正面设置测试调制结构对测试晶片的掺杂进行调制，再对设有测试调制结构的测试晶片进行掺杂扩散测试，从而可以测试出测试调制结构对测试晶片中掺杂区的掺杂分布的影响，使得测试结果更加接近实际中的掺杂效果，以便于更好的对掺杂进行校准。
主权项：1.一种像素掺杂扩散的测试结构，其特征在于，所述测试结构包括：测试晶片，所述测试晶片内设有掺杂区;所述测试晶片的正面设有测试调制结构，以对所述测试晶片的掺杂进行调制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 思特威(上海)电子科技股份有限公司 像素掺杂扩散的测试结构
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