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申请/专利权人：江苏多维科技有限公司
摘要：本申请提供一种Z轴磁场传感器及其加工方法，涉及磁场测量技术领域。传感器包括：基底、磁通转换模块、磁感应模块、输出模块；构成磁通转换模块的高磁导率的金属软磁材料位于基底上刻蚀的沟槽内部或位于基底上方，磁通转换模块包括第一磁通转换单元第二磁通转换单元；第一磁通转换单元和第二磁通转换单元中包含呈间隔分布的金属软磁材料，将Z轴方向上待测磁场聚集放大后进行磁场方向的转换，产生X轴磁场分量。磁感应模块感应磁通转换模块的磁场，产生差分电压信号并通过输出模块形成待测磁场的输出信号；本申请提供的Z轴磁场传感器和加工方法，具有磁场转换效率高、磁场分布均匀、灵敏度高、稳定性好、噪声低、可单芯片小体积制备的特点。
主权项：1.一种Z轴磁场传感器，其特征在于，所述Z轴磁场传感器包括：基底、磁通转换模块、磁感应模块和输出模块；所述磁通转换模块设置于所述基底的沟槽内部或位于所述基底的上方；所述磁通转换模块用于将待测磁场调制，在X轴方向上产生磁场分量，以形成目标磁通路径；其中，所述待测磁场的方向为Z轴方向；所述磁感应模块包括至少两个磁感应单元；所述磁感应单元沿Z轴方向设置于所述磁通转换模块之间，所述磁感应单元用于在所述目标磁通路径的作用下，产生差分电压信号；其中，所述磁感应单元由至少一个磁电阻敏感元件构成，且所述磁感应单元的灵敏度方向相同；所述磁感应模块采用差分全桥、差分半桥、推挽全桥、推挽半桥中的至少一种结构感应所述磁通转换模块的磁场，产生差分电压信号并通过所述输出模块形成所述待测磁场的输出信号；其中，所述基底所在的平面为X轴和Y轴构成的平面，所述磁通转换模块沿X轴方向设置，垂直于所述基底所在的平面为Z轴所在平面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏多维科技有限公司 Z轴磁场传感器及其加工制备方法
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