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申请/专利权人：东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司;湘潭宏大真空技术股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种可调磁场的射频离子源；包括离子容纳腔和永磁模块，离子容纳腔两侧的侧壁上设置有与永磁模块相适配的安装槽，多个永磁模块对应设置在两侧的安装槽处；永磁模块包括永磁组件和位置调节组件，位置调节组件与永磁组件连接，位置调节组件用于调节永磁组件的位置，以改变永磁组件与离子容纳腔之间的距离，从而进一步实现对离子容纳腔内磁场强度的调节。永磁组件不需要通电便可保持磁性，而且各个永磁组件的位置均可调节，可以保证离子容纳腔内磁场强度的均匀性，效率更高。
主权项：1.一种可调磁场的射频离子源，其特征在于，包括离子容纳腔和永磁模块，所述离子容纳腔两侧的侧壁上设置有与所述永磁模块相适配的安装槽，多个所述永磁模块对应设置在两侧的所述安装槽处；所述永磁模块包括永磁组件和位置调节组件，所述位置调节组件与所述永磁组件连接，所述位置调节组件用于调节所述永磁组件的位置，以改变所述永磁组件与所述离子容纳腔之间的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞市科盛机电设备有限公司 深圳市科和盛业技术有限公司 湘潭宏大真空技术股份有限公司 一种可调磁场的射频离子源
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