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申请/专利权人:信越化学工业株式会社
摘要:本发明为一种层叠结构体,其具有结晶性衬底和以镓作为主要成分并且具有β‑gallia结构的结晶性氧化物膜,所述结晶性衬底为以钽酸锂作为主要成分的结晶性衬底;由此提供一种具有热稳定结晶性氧化物膜的廉价层叠结构体。
主权项:1.一种层叠结构体,其具有结晶性衬底和以镓作为主要成分并且具有β-gallia结构的结晶性氧化物膜,该层叠结构体的特征在于,所述结晶性衬底为以钽酸锂作为主要成分的结晶性衬底。
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权利要求:
百度查询: 信越化学工业株式会社 层叠结构体及层叠结构体的制造方法
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