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申请/专利权人：易案爱富科技有限公司
摘要：本发明涉及金属膜蚀刻组合物。根据本发明的金属膜蚀刻组合物包含过氧化氢、有机酸、二元醇系高分子和水，pH范围为3.0至4.4，相对于硅膜、透明导电膜等下部膜，具有对铜、钼等金属膜的高选择比或无限选择比，在相对高的pH范围内双氧水稳定性也优异，即使蚀刻重复进行而再使用多次，也能够持续维持初期优异的特性。此外，不仅在蚀刻时能够实现线性优异的带状轮廓，而且具有CD损失CDloss减少和抑制残渣产生的特性优异的效果。此外，由于组合物具有高稳定性，从而具有在使用前或使用后也能够持续地维持初期优异的特性的得到提高的保存稳定性，具有蚀刻时不产生析出物且能够抑制发热的效果。
主权项：1.一种金属膜蚀刻组合物，所述金属膜蚀刻组合物包含10至40重量％的过氧化氢、0.1至10重量％的有机酸、0.1至5重量％的二元醇系高分子和余量的水，所述有机酸包含亚氨基二琥珀酸，和选自亚氨基二乙酸、丙二酸和乙醇酸中的一种以上，所述金属膜蚀刻组合物的pH范围为3.0至4.4，其中，所述亚氨基二琥珀酸满足下述关系式1，所述有机酸以0.1至3重量％含有亚氨基二琥珀酸，关系式110≤1og10K上述关系式1中，K是对于铟离子、镓离子或锌离子的稳定常数。
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百度查询： 易案爱富科技有限公司 金属膜蚀刻组合物
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