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申请/专利权人：斯天克有限公司
摘要：本发明的目的在于对为了制造高分辨率沉积掩膜而使用的金属板的夹杂物进行管理，因此提供一种筛选出符合夹杂物的管理标准的金属板的金属板筛选方法以及利用所述方法筛选出来的金属板、利用金属板制造沉积掩膜的沉积掩膜制造方法以及通过所述方法制造出来的沉积掩膜。
主权项：1.一种金属板，作为通过形成多个贯通孔而用于制造出沉积掩膜的金属板，所述金属板的厚度t0为50μm以下，而且包括在其厚度方向上彼此相对的第一面以及第二面，在所述金属板包括含有铁和镍的合金以及除所述铁和镍之外的多个夹杂物的情况下，每1mm3单位面积的所述金属板中包含的不足1μm大小的第一夹杂物的数量为25000个以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 斯天克有限公司 金属板和利用所述金属板的沉积掩膜及其制造方法
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