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申请/专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
摘要：本发明属于金属掩膜版技术领域，尤其是涉及一种金属掩膜版框架固定支架，包括底座，底座的边缘设有向外延伸的裙边，底座的中心处设有方形的卡槽，卡槽的两侧内壁中均设有与之同形状的回型腔，回型腔内设有卡紧机构，卡紧机构贯穿卡槽的两侧内壁并延伸至其中，卡槽的底部设有悬浮机构，底座内还设有鼓风机构，鼓风机构设置于卡槽的中心处，鼓风机构与卡紧机构及悬浮机构均连通设置。优点在于：本发明可较为方便快捷的对金属掩膜版框架进行固定作用，增加其在后续的加工时的稳定性，同时防止外物的干扰，对加工的杂物可进行一定程度上的控制，具有更高的加工效率和质量。
主权项：1.一种金属掩膜版框架固定支架，包括底座1，其特征在于，所述底座1的边缘设有向外延伸的裙边，所述底座1的中心处设有方形的卡槽2，所述卡槽2的两侧内壁中均设有与之同形状的回型腔3，所述回型腔3内设有卡紧机构4，所述卡紧机构4贯穿卡槽2的两侧内壁并延伸至其中，所述卡槽2的底部设有悬浮机构5，所述底座1内还设有鼓风机构6，所述鼓风机构6设置于卡槽2的中心处，所述鼓风机构6与卡紧机构4及悬浮机构5均连通设置；所述卡紧机构4包括固定填充于回型腔3内的气囊7，所述气囊7的外壁上固定连接有外套管8，所述外套管8内活动连接有内套管9，所述内套管9与外套管8之间填充有压缩空气，所述内套管9上固定连接有橡胶软段10，所述内套管9贯穿卡槽2的内壁并延伸至其中；所述悬浮机构5包括设置于卡槽2底部的沉槽13，所述沉槽13的顶部密封固定连接有橡胶垫板14，所述橡胶垫板14位于内套管9的下方，所述橡胶垫板14的底部开设有多个喷气孔15；所述鼓风机构6包括设置于底座1内的腔室16，所述腔室16内设有泵气组件17，所述底座1内设有通气孔，所述通气孔与回型腔3和气囊7及沉槽13、腔室16均连通设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏高光半导体材料有限公司 一种金属掩膜版框架固定支架
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