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涂层去除系统及其操作方法 

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申请/专利权人:超清洁控股有限公司

摘要:一种涂层去除处理,包括:提供其中具有可密封处理容积106的涂层去除容器100;在可密封处理容积106中,在高于去除容器周围环境温度的升高温度下,提供与涂层反应的涂层去除流体126;将其上具有待去除涂层的部件定位在处理容积中;将可密封处理容积106与处理容积周围的环境密封;将涂层去除流体126加热至高于其在周围环境的压力下的沸点的温度;在高于其在周围环境的压力下的沸点的温度下使用涂层去除流体126从部件去除涂层;将涂层去除流体126的温度降低至低于其在周围环境的压力下的沸点的温度;将可密封容积106排放至周围环境;并且从处理容积106去除部件。

主权项:1.一种涂层去除容器,包括:外部主体,所述外部主体包括处理容积和通向其中的开口;盖,所述盖打开所述开口,所述盖在其中包括能够与所述外部主体和所述盖的表面接触的密封件;部件保持器,所述部件保持器能够移除地位于所述处理容积中;加热器,所述加热器被配置为当清洁流体被供应至所述处理容积时,将所述清洁流体加热至高于所述涂层去除容器周围的环境压力下的所述清洁流体的沸点的温度;以及压力调节器,其中在所述部件保持器位于所述处理容积中,并且所述盖被密封地连接至所述容器以关闭所述开口并且将所述处理容积与周围环境密封的情况下,能够位于所述处理容积中的清洁流体能够加热至高于其在周围环境中的沸点的温度,但是自加压至足以防止其在压力容器中沸腾的压力。

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权利要求:

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