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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明涉及一种含水道铜合金靶材组件的焊接方法，具体涉及焊接领域，所述焊接方法包括：对靶材和背板的焊接面均分别依次进行渗镍处理和等离子体活化，之后进行装配并采用电子束焊接对焊缝进行焊接。本发明提供的焊接方法，通过采用特定的渗镍处理和等离子体活化相配合，实现对焊接面的高效处理，之后经电子束焊接可显著提升所得靶材组件的焊接强度，有利于铜合金靶材的在溅射过程中稳定性和使用寿命的提升。
主权项：1.一种含水道铜合金靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：对靶材和背板的焊接面均分别依次进行渗镍处理和等离子体活化，之后进行装配并采用电子束焊接对焊缝进行焊接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种含水道铜合金靶材组件的焊接方法
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