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一种稀土靶材绑定胶及其绑定方法 

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申请/专利权人:深圳众诚达应用材料股份有限公司

摘要:本申请涉及导电胶技术领域,提供了一种稀土靶材绑定胶和稀土靶材绑定方法。稀土靶材绑定胶包括第一绑定胶和第二绑定胶,第一绑定胶包括第一树脂10~30份、稀土金属包覆铜粉50~80份、第一导电导热添加剂1~10份、第一界面改性剂1~5份和第一助剂3~12份;第二绑定胶包括第二树脂30~60份、铜包覆稀土金属粉25~50份、第二导电导热添加剂1~10份、第二界面改性剂1~5份和第二助剂3~12份。第一绑定胶用于涂覆在稀土靶材管的内表面,第二绑定胶用于涂覆在铜背管的外表面,具有绑定强度高、导电导热性能好以及耐高温强度高,并且通过稀土金属包覆铜粉和铜包覆稀土金属粉可以降低热膨胀系数差异,防止靶材变形。

主权项:1.一种稀土靶材绑定胶,其特征在于,包括第一绑定胶和第二绑定胶,所述第一绑定胶和所述第二绑定胶分别以各自独立的重量份计,所述第一绑定胶包括如下组分:第一树脂10~30份、稀土金属包覆铜粉50~80份、第一导电导热添加剂1~10份、第一界面改性剂1~5份和第一助剂3~12份;所述第二绑定胶包括如下组分:第二树脂30~60份、铜包覆稀土金属粉25~50份、第二导电导热添加剂1~10份、第二界面改性剂1~5份和第二助剂3~12份。

全文数据:

权利要求:

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