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申请/专利权人:南京理工大学
摘要:本发明公开了一种基于甲基磺酸铜电解液体系电沉积纳米晶纯铜的方法。所述方法采用的电解液为甲基磺酸铜300gL、一级络合剂四乙酸二氨基乙烯40~80gL、二级络合剂氮基三乙酸10~20gL、导电盐硝酸铵15gL、表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵2gL、余量为去离子水,氨水调节pH值至8~9。采用所述的电解液在铜板电沉积,得到的纯铜光滑、无裂纹,晶粒尺寸达30~200nm,通过调整电解液组分浓度的可实现对纳米晶粒尺寸的调控。
主权项:1.基于甲基磺酸铜电解液体系电沉积纳米晶纯铜的方法,其特征在于,包括以下步骤:1配制电解液,电解液的组成为:甲基磺酸铜300gL、一级络合剂四乙酸二氨基乙烯40~80gL、二级络合剂氮基三乙酸10~20gL、导电盐硝酸铵15gL、表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵2gL、余量为去离子水,氨水调节pH值至8~9;2对阴极进行除油、清洗,将阳极和经过预处理的阴极置入电解槽中的电解液中,将电解槽置于恒温水浴锅中,在搅拌状态下通入电流进行电解。
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百度查询: 南京理工大学 基于甲基磺酸铜电解液体系电沉积纳米晶纯铜的方法
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