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申请/专利权人：大永真空设备股份有限公司
摘要：本发明提供一种等离子体监控装置。等离子体监控装置，包括至少一第一靶座、至少一第二靶座、第一准直镜组、第一流量控制器组以及等离子体放射监控器。第一靶座具有第一靶材且提供第一等离子体。第二靶座具有第二靶材且提供第二等离子体。第一准直镜组对应于第一靶座设置，以侦测第一等离子体的第一等离子体光谱。第一流量控制器组分别通过第一供气管组与第二供气管组提供气体给第一靶座与第二靶座。等离子体放射监控器根据第一等离子体的第一等离子体光谱调整流量控制器组所提供的气体的流量。第一靶材与第二靶材相同。准直镜组的总组数小于靶座的总数量。
主权项：1.一种等离子体监控装置，其特征在于，包括：至少一第一靶座，具有第一靶材，且提供第一等离子体；至少一第二靶座，具有第二靶材，且提供第二等离子体；第一准直镜组，对应于所述第一靶座设置，以侦测所述第一等离子体的第一等离子体光谱；第一流量控制器组，分别通过第一供气管组与第二供气管组提供气体给所述第一靶座与所述第二靶座；以及等离子体放射监控器，根据所述第一等离子体的所述第一等离子体光谱调整所述第一流量控制器组所提供的所述气体的流量，其中，所述第一靶材与所述第二靶材相同，且准直镜组的总组数小于靶座的总数量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大永真空设备股份有限公司 等离子体监控装置
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