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CeLYSO多晶粉体制作生长设备及方法 

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申请/专利权人:安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司

摘要:本发明公开了CeLYSO多晶粉体制作生长设备及方法,涉及提拉法炉领域,该种CeLYSO多晶粉体制作生长设备及方法通过设置侧挡板组件和同步翻转组件,使得多个侧挡板在晶棒下料过程中能够反转成防护姿态将晶棒围住,从而能够在保证晶棒具有较快的下放速度下也不会发生晃动,从而大大降低掉棒的情况发生;设置的侧挡板组件由于在内抵板上安装有清洁刷,并配合设置的第二转动组件,在进行晶棒晃动防护工作的同时,使得多个侧挡板环绕晶棒转动,能够同时对晶棒的外周进行预清洁工作,利用下料晶棒的过程,实现对晶棒外周从上至下的清洁工作,降低了后续清洁工作的强度和时间,从而提升了整个晶棒处理过程的效率。

主权项:1.CeLYSO多晶粉体制作生长设备,包括生长室(2)以及位于生长室(2)上方的与生长室(2)内腔相连通的副室(6),其特征在于,所述副室(6)下端的外壁上等角度间距转动安装有若干个侧挡板组件(8),所述侧挡板组件(8)具有处于水平的扩张姿态以及呈竖直的将晶棒围住的防护姿态,所述副室(6)的外壁上安装有用于驱动侧挡板组件(8)翻转进行防护姿态以及扩张姿态切换工作的同步翻转组件(9)。

全文数据:

权利要求:

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