龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海朋熙半导体有限公司
摘要：本申请涉及信息技术领域，提供一种智能检测故障机台的方法、系统、设备、介质及产品。本申请的智能检测故障机台的方法包括：当当前晶圆缺陷为电弧缺陷时，获取所述当前晶圆多个加工站点地址信息；基于所述当前晶圆多个加工站点地址信息，获取所述当前晶圆进出每一机台的时间范围内的电压值；基于所述当前晶圆进出每一机台的时间范围内的电压值，获取存在电压骤降恢复的情况的加工站点地址信息；基于所述存在电压骤降恢复的情况的加工站点地址信息，获取造成电弧缺陷的加工站点地址信息。通过上述配置方式，本申请能够提高查找故障机台的效率。
主权项：1.一种智能检测故障机台的方法，其特征在于，所述方法包括：当当前晶圆缺陷为电弧缺陷时，获取所述当前晶圆多个加工站点地址信息；基于所述当前晶圆多个加工站点地址信息，获取所述当前晶圆进出每一机台的时间范围内的电压值；基于所述当前晶圆进出每一机台的时间范围内的电压值，获取存在电压骤降恢复的情况的加工站点地址信息；基于所述存在电压骤降恢复的情况的加工站点地址信息，获取造成电弧缺陷的加工站点地址信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海朋熙半导体有限公司 一种智能检测故障机台的方法、系统、设备、介质及产品
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号