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申请/专利权人：浜松光子学株式会社
摘要：冷却单元具备外套，外套具有中央部及外侧部。在中央部，形成有来自半导体器件的光通过的开口。外侧部具有与配置半导体器件的载台接触的接触部。在外套，形成有用于冷却半导体器件的冷却流体流通的供给流路。在外套的中央部与外侧部之间，形成有以冷却流体自中央部的上表面流下的方式构成的槽部。在槽部，连接有排出至外部的冷却流体流通的排出流路。
主权项：1.一种冷却单元，其中，是在半导体器件的检查中使用的冷却单元，具备用于将所述半导体器件的热予以散热的外套，所述外套具有中央部和位于所述中央部的周围的外侧部，在所述中央部，形成有来自所述半导体器件的光通过的开口，所述外侧部具有与供所述半导体器件配置的载台接触的接触部，在所述外套，形成有用于冷却所述半导体器件的冷却流体流通的供给流路，在所述外套的所述中央部与所述外侧部之间，形成有以所述冷却流体自所述中央部的上表面流下的方式构成的槽部，在所述槽部，连接有排出至外部的所述冷却流体流通的排出流路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浜松光子学株式会社 冷却单元、物镜模块及半导体检查装置
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