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一种显微物镜的齐焦与偏心检测装置及检测方法 

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申请/专利权人:宁波永新光学股份有限公司

摘要:本发明公开了一种显微物镜的齐焦与偏心检测装置及检测方法,通过设置在可以上下移动的载物台上的标准网格板以及能够绕光轴转动的物镜固定器,不需要多次拆卸物镜就能够同时检测物镜的齐焦与偏心,且检测效率和检测精度均有较大提高,检测一颗物镜的齐焦和偏心用时从原先的约40s减少到约20s,而通过GRR重复性分析,重复性为19.8%,相对于手动齐焦装置30%的重复性,检测精度也有较大提升。

主权项:1.一种显微物镜的齐焦与偏心检测装置,其特征在于,包括机架和控制装置,所述的机架包括下部的底座和上部的检测平台,所述的底座设置有光源,所述的检测平台上固定设置有检测座,所述的检测座上设置有图像接收装置,所述的控制装置与所述的图像接收装置连接用于处理所述的图像接收装置发送的图像信号,所述的底座和所述的检测平台之间设置有载物台,所述的载物台上设置有检测孔,所述的检测孔上设置有标准网格板,所述的载物台设置有升降驱动装置,所述的升降驱动装置由所述的控制装置控制来驱动所述的载物台上下移动,所述的检测座内设置有能够绕光轴转动的物镜固定器,所述的物镜固定器设置有转动驱动装置,所述的转动驱动装置由所述的控制装置控制来驱动所述的物镜固定器绕光轴转动,所述的光源发出的光线经过所述的检测孔和设置在所述的物镜固定器上的物镜将所述的标准网格板的图像发送至所述的图像接收装置。

全文数据:

权利要求:

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