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申请/专利权人：张家港中贺自动化科技有限公司

摘要：本发明提供了一种倍率可调的物镜光学系统以及投影光刻系统，其投影倍率可调，且使得物面和像面都具有足够的操作空间，包括沿着光轴设置的第一镜组、反射镜、第二镜组、第三镜组、第四镜组和反射曲面，由物面发射的光束依次经过所述第一镜组、反射镜、第二镜组、第三镜组后，经过反射曲面反射后，再依次经过所述第三镜组、第二镜组、反射镜、第四镜组后汇聚成像到像面，所述第一镜组和所述第四镜组能够沿着光轴方向移动调整光学系统的投影倍率，所述物镜光学系统满足关系式：0.38f1L1.5、0.26‑RL1.1，其中，f1为第一镜组的组合焦距，L为光学系统的物面至像面光学距离，R为反射曲面的曲率半径。

主权项：1.一种倍率可调的物镜光学系统，其特征在于：包括沿着光轴设置的第一镜组、反射镜、第二镜组、第三镜组、第四镜组和反射曲面；所述第一镜组包括第一透镜，所述第一透镜为正透镜，所述第一透镜远离所述反射曲面的第一侧面为凸面，半径为1580.514mm；所述第一透镜靠近所述反射曲面的第二侧面为凸面，半径为-1580.514mm；所述第一透镜的厚度为35mm；所述第一透镜的折射率为1.497；所述第一透镜的色散系数为81.14；所述第二镜组包括第二透镜，所述第二透镜为正透镜，所述第二透镜远离所述反射曲面的第一侧面为凸面，半径为927.0948mm；所述第二透镜靠近所述反射曲面的第二侧面为凸面，半径为-927.0948mm；所述第二透镜的厚度为40mm；所述第二透镜的折射率为1.497；所述第二透镜的色散系数为81.14；所述第三镜组包括第三透镜和第四透镜，所述第三透镜为正透镜，所述第三透镜远离所述反射曲面的第一侧面为凸面，半径为708.2507mm;第三透镜靠近所述反射曲面的第二侧面为凸面，半径为-8254.398mm；所述第三透镜的厚度为20mm；所述第三透镜的折射率为1.497；所述第三透镜的色散系数为81.14；所述第四透镜为负透镜，所述第四透镜远离所述反射曲面的第一侧面为凹面，半径为-336.164mm;所述第四透镜靠近所述反射曲面的第二侧面为凸面，半径为-1031.511mm；所述第四透镜的厚度为20mm；所述第四透镜的折射率为1.5163；所述第四透镜的色散系数为64.24；所述第四镜组包括第五透镜，所述第五透镜为正透镜，所述第五透镜远离所述反射曲面的第一侧面为凸面，所述第五透镜靠近所述反射曲面的第二侧面为凸面;物面至所述第一透镜的间距为94.99961mm；所述第一透镜至所述第二透镜的间距为337.7184mm；所述第二透镜至所述第三透镜的间距为395.3229mm；所述第三透镜至所述第四透镜的间距为56.96247mm；所述倍率可调的物镜光学系统中具有光焦度的透镜的数量为五个；所述第三镜组距离物面最远的透镜曲面与所述反射曲面为同一曲面；第一透镜和第五透镜具有相同的光学特性；由物面发射的光束依次经过第一透镜、反射镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜后，经过反射曲面反射后，再依次经过第四透镜、第三透镜、第二透镜、反射镜、第五透镜后汇聚成像到像面。

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