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申请/专利权人:江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要:本发明提供了一种导片方法及导片系统,该导片方法,通过将第二承载单元部分片材转移至缓存齿组件上,处于缓存齿组件上的片材与第二承载单元上剩余的片材能够形成多个拾取单元,这样可以扩展第一承载单元和第二承载单元的承载量,不仅可以提升载片舟和花篮的承载量,而且拾取单元的片材数量等于一个第一承载单元的承载量,片材在二者之间的转移效率比较高。
主权项:1.一种导片系统的导片方法,用于第一承载单元和第二承载单元之间片材的转移,其特征在于,所述第一承载单元具有N个插片位,所述第二承载单元具有M个插片位,M:N≥1,该导片方法包括:S1、自位于第一工位的所述第二承载单元的M个插片位中拾取n个拾取单元的片材,并逐一转移至位于第二工位的至少一个所述第一承载单元内部,其中n为正整数;S2、当所述第二承载单元中剩余片材小于一个拾取单元时,则将所述第二承载单元中部分片材转移至缓存机构中,以与所述第二承载单元中剩余片材配置形成一个拾取单元,然后将所述第二承载单元和所述缓存机构形成的所述一个拾取单元的片材转移至所述第一承载单元内部。
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