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一种半导体光电子器件的测试装置 

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申请/专利权人:无锡源清瑞光激光科技有限公司

摘要:本实用新型涉及半导体光电子器件测试技术领域,公开了一种半导体光电子器件的测试装置,包括测试座,测试座上沿光传输方向依次设有聚焦组件、光隔离组件和光纤,聚焦组件的聚焦点与光纤对应设置,光纤用于耦合聚焦组件聚焦的光;在实际使用时,本实用新型通过聚焦组件对发光芯片发出的光进行聚焦,然后使用光纤耦合聚焦组件聚焦的光,这样通过连接光纤可以直接检测发光芯片发射光的波长、光谱、功率和线宽等重要光学参数,从而可以无需将芯片制作成器件后再进出判定,进而能提高半导体电子器件的生产效率和成品率。

主权项:1.一种半导体光电子器件的测试装置,其特征在于,包括测试座1,所述测试座1上沿光传输方向依次设有聚焦组件2、光隔离组件3和光纤4,所述聚焦组件2的聚焦点与所述光纤4对应设置,所述光纤4用于耦合所述聚焦组件2聚焦的光。

全文数据:

权利要求:

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