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一种管材溅镀设备及其方法 

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申请/专利权人:朱健

摘要:本发明属于管材加工技术领域,具体的说是一种管材溅镀设备及其方法,包括筒体和控制器、靶材、电机、主动转盘、主动副转盘、夹具、从动转盘和从动副转盘;所述从动转盘的顶部固连有气泵;所述从动转盘的顶部中心固连有电动推杆,电动推杆的顶部固连有滑动盘,现有技术中,在运输与装夹的过程中可能对管材造成二次污染,从而影响溅镀效果,影响加工效果,且人工清洁效率较低,劳动强度较大;本发明中,通过设置滑动盘,便于对管材在筒体进行清洁,清洁过程不需要人员直接参与,提高清洁效率,且降低人员劳动强度,清洁完成后直接进行溅镀,避免造成二次污染,改善溅镀效果,提高产品良率。

主权项:1.一种管材溅镀设备,包括筒体1和控制器,筒体1内部转动连接有靶材11,筒体1外侧的顶部固连有电机12,筒体1内侧顶部转动连接有主动转盘13,主动转盘13与电机12的输出轴固连,主动转盘13的底部转动连接有主动副转盘14,主动副转盘14与电机12的输出轴通过齿轮传动连接,主动副转盘14的底部固连有夹具15,筒体1内侧底部转动连接有从动转盘2,从动转盘2顶部转动连接有从动副转盘21;所述从动转盘2的顶部固连有气泵22;所述从动转盘2的顶部中心固连有电动推杆23,电动推杆23的顶部固连有滑动盘3,滑动盘3上开设有通孔31,通孔31与从动副转盘21一一对应,通孔31的内壁开设有气孔32,气孔32通过管道与气泵22连通,管道上设置有过滤器24;所述气泵22的另一端与筒体1的排气口连通;所述控制器用于调节管材溅镀设备的运行;所述从动副转盘21的顶部固连有气囊25,气囊25通过管道与气泵22连通;所述滑动盘3的周向外侧固连有电动伸缩杆33,电动伸缩杆33的另一端固连有刮板4,刮板4与靶材11接触的一侧固连有砂纸41,刮板4下方固连有集屑盒42,集屑盒42的排废口与过滤器24连通,集屑盒42与靶材11卡合连接;所述刮板4在砂纸41的上方固连有无绒软布43;所述滑动盘3的底部螺纹连接有酒精瓶44,酒精瓶44内设有棉芯,棉芯的另一端与无绒软布43固连;所述刮板4在无绒软布43上方开设有气嘴45,气嘴45通过管道与气泵22连通;采用所述管材溅镀设备的溅镀方法,该方法步骤如下:S1、通过吊机将筒体1的顶盖吊起,顶盖移动到待加工的管材上方,再将夹具15对准管材内孔,对管材装夹固定,接着将筒体1的顶盖连通管材移动到筒体1内部,将管材放置到从动副转盘21上,控制器驱动气泵22对气孔32抽气,控制器控制气泵22首先向气囊25供气,气囊25充气后膨胀,气囊25与管材内壁贴合,进而对管材底部进行固定;S2、在S1中管材被固定后,控制器控制电动推杆23伸缩,电动推杆23伸缩使得滑动盘3上下移动,滑动盘3上下时控制器驱动气泵22对气孔32抽气,气孔32处形成负压,吸取管材表面的脏污,脏污从气孔32吸到过滤器24中进行收集,控制器控制电动伸缩杆33伸长,此时砂纸41与靶材11接触,控制器驱动靶材11转动使得砂纸41对其进行打磨,集屑盒42中的废屑被吸入到过滤器24中进行收集,打磨完成后,控制器控制电动伸缩杆33收缩,此时无绒软布43复位蓬松,且与靶材11接触,砂纸41此时与靶材11不再接触,无绒软布43在复位蓬松的过程中通过棉芯吸取酒精,同时随着滑动盘3上下移动,对靶材11进行进一步擦拭,当筒体1内部的真空度达到设定值时,向筒体1内部泵入氩气;S3、在S2中充入氩气后,控制器控制电机12转动,电机12驱动主动转盘13转动,从动转盘2随之转动,使得管材绕着筒体1中心公转,同时电机12驱动主动副转盘14转动,从动副转盘21随之转动,使得管材绕自身轴心自转,控制器控制靶材11转动,同时对管材进行溅镀;S4、在S3中溅镀完成后,控制器控制气泵22将筒体1内的氩气泵入到气嘴45处,通过氩气冲洗靶材11,以除去可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒,从而减少靶材11表面的杂质微粒,完成后取出管材。

全文数据:

权利要求:

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