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一种双腔室蒸镀镀锅同步传动结构 

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申请/专利权人:苏州佑伦真空设备科技有限公司

摘要:本发明公开了一种双腔室蒸镀镀锅同步传动结构,包括:齿轮防着板、一对镀锅组件、单轴双齿轮驱动组件。镀锅组件包括镀锅,镀锅的外侧卡合装配有多组均匀分布的盖板,镀锅的外侧铰接有多组均匀分布的压条。单轴双齿轮驱动组件包括支架固定板,支架固定板固定装配有装配轴承座,装配轴承座内转动连接有下回转杆,下回转杆贴近齿轮防着板的一端固定连接有传动齿轮,传动齿轮的两侧均啮合有驱动齿轮。本发明公开的一种双腔室蒸镀镀锅同步传动结构,通过采用双齿轮单轴驱动,保证了镀锅的旋转同步度,避免了一种双腔室蒸镀镀锅同步传动结构出现双样品沉积速度不均匀的情况,提高了一种双腔室蒸镀镀锅同步传动结构对基片进行镀膜的均匀性。

主权项:1.一种双腔室蒸镀镀锅同步传动结构,其特征在于,包括:齿轮防着板;一对镀锅组件,固定装配在所述齿轮防着板的下方,所述镀锅组件包括镀锅,所述镀锅转动转配在所述齿轮防着板的下方,所述镀锅的外侧卡合装配有多组均匀分布的盖板,所述镀锅的外侧铰接有多组均匀分布的压条,多组所述盖板与压条交错分布;单轴双齿轮驱动组件,固定装配在所述齿轮防着板的上方,所述单轴双齿轮驱动组件包括支架固定板,所述支架固定板固定装配在齿轮防着板的上方,所述支架固定板固定装配有装配轴承座,所述装配轴承座内转动连接有下回转杆,所述下回转杆贴近齿轮防着板的一端固定连接有传动齿轮,所述传动齿轮的两侧均啮合有驱动齿轮。

全文数据:

权利要求:

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