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申请/专利权人：上海升翕光电科技有限公司
摘要：本申请提供一种蒸镀机的对位装置，包括：基板、掩膜板、第一载台、第二载台、以及振动补偿模块，其中，第一载台与基板连接，第一载台用于支撑基板以及调整基板的位置，基板用于承载器件材料；第二载台与掩膜板连接，第二载台用于支撑掩膜板以及调整掩膜板的位置，掩膜板用于控制器件材料在基板的预设位置沉积；振动补偿模块与第一载台以及第二载台连接，振动补偿模块用于控制第一载台以及第二载台振动，以抵消蒸镀机的振动引起的基板以及掩膜板的位移。以上方案，通过振动补偿模块检测振动并根据检测结果进行振动补偿，可以有效抵消蒸镀机工作的振动，实现精细对位，从而提升生产器件的准确性。
主权项：1.一种蒸镀机的对位装置，其特征在于，包括，基板、掩膜板、第一载台、第二载台、以及振动补偿模块，其中，所述第一载台与所述基板连接，所述第一载台用于支撑所述基板以及调整所述基板的位置，所述基板用于承载器件材料；所述第二载台与所述掩膜板连接，所述第二载台用于支撑所述掩膜板以及调整所述掩膜板的位置，所述掩膜板用于控制器件材料在所述基板的预设位置沉积；所述振动补偿模块与所述第一载台以及所述第二载台连接，所述振动补偿模块用于控制所述第一载台以及所述第二载台振动，以抵消蒸镀机的振动引起的所述基板以及所述掩膜板的位移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海升翕光电科技有限公司 蒸镀机的对位装置
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