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申请/专利权人：天津鑫钰半导体设备有限公司
摘要：本实用新型涉及一种三段式法拉第杯，属于半导体工艺设备技术领域，包括有方形腔体，方形腔体具有底板和四个侧壁；底板上设置有第一法拉第杯、第二法拉第杯和第三法拉第杯，第一法拉第杯、第二法拉第杯和第三法拉第杯均呈条形且在宽度方向上依次排列设置；第一法拉第杯、第二法拉第杯、第三法拉第杯相互独立，第一法拉第杯、第二法拉第杯、第三法拉第杯的背侧均设有连接端子；侧壁在朝内的一侧均设置有石墨板。本方案具有三个相互独立的用于检测离子束的部分，并且分别位于中部和两侧，能够通过比较测量值判断出离子束照射的位置，丰富了法拉第杯的功能，空间利用率较高，并且还能够据此进行离子束的粗调，从而提高束流调试过程的整体效率。
主权项：1.一种三段式法拉第杯，其特征在于，包括有方形腔体5，方形腔体5具有底板6和四个侧壁；所述底板6上设置有第一法拉第杯1、第二法拉第杯2和第三法拉第杯3，所述第一法拉第杯1、所述第二法拉第杯2和所述第三法拉第杯3均呈条形且在宽度方向上依次排列设置；所述第一法拉第杯1、所述第二法拉第杯2、所述第三法拉第杯3相互独立，所述第一法拉第杯1、所述第二法拉第杯2、所述第三法拉第杯3的背侧均设有连接端子7；所述侧壁在朝内的一侧均设置有石墨板4。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津鑫钰半导体设备有限公司 一种三段式法拉第杯
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