龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种法拉第屏蔽装置、等离子体刻蚀系统及其使用方法，法拉第屏蔽装置包括法拉第屏蔽板和贴置在法拉第屏蔽板下端面的电阻丝；法拉第屏蔽板包括导电环和多个辐射对称连接在导电环外周的导电瓣状件；电阻丝的外表面设置有绝缘导热层；刻蚀工艺时，电阻丝通电加热。本发明当刻蚀工艺时，导通加热电路与电阻丝，使电阻丝通电温度升高，加热介质窗，减少产物的沉积量；由于电阻丝与介质窗直接接触，加热效率高，热量散失少，简化了设备结构；法拉第屏蔽板位于射频线圈与电阻丝之间形成屏蔽，可防止射频线圈与电阻丝之间产生耦合及放电；加热电源的输出端经滤波电路单元滤波后，连接至电阻丝，有效防止射频线圈与电阻丝之间产生耦合。
主权项：1.一种等离子体刻蚀系统的可用于加热的法拉第屏蔽装置，包括法拉第屏蔽板；所述法拉第屏蔽板包括导电环和多个辐射对称连接在导电环外周的导电瓣状件；其特征在于：所述法拉第屏蔽装置还包括贴置在法拉第屏蔽板下端面的电阻丝；所述电阻丝的外表面设置有绝缘导热层；刻蚀工艺时，所述电阻丝通电加热；所述法拉第屏蔽板的下端面设置有布线槽；所述电阻丝嵌入设置在布线槽内；所述电阻丝在法拉第屏蔽板上布线形成的图形是开放曲线；所述法拉第屏蔽板分为若干个加热区域；每个所述加热区域包括一段导电环以及对应连接在该段导电环上的若干个导电瓣状件；每个加热区域设置有一根电阻丝；所述一根电阻丝沿所述加热区域内的导电环以及所述加热区域内的每一个导电瓣状件布线；所述电阻丝在导电瓣状件的下端面沿弓形路径布线，从而能够均匀的进行加热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京鲁汶半导体科技有限公司 一种法拉第屏蔽装置、等离子体刻蚀系统及其使用方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号