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申请/专利权人：西北核技术研究所
摘要：本发明涉及低能重离子的束流监测，具体涉及用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置及方法，为解决现有技术中存在位置分辨能力低无法反应小尺寸样品内的注量率及其均匀性且对低能重离子束流的稳定性要求较高的不足之处，多功能束流监测装置包括二次电子发射薄膜、MCP模块、二次电子约束模块、信号读出模块；二次电子发射薄膜设置在束流的入射路径上，且与束流的入射方向存在夹角；信号读出模块包括束流强度测量单元和束流剖面分布测量单元，对MCP模块的电信号进行测量及转化，多功能束流监测方法利用上述装置测量得到的对应电信号，计算得到注量率及均匀性。
主权项：1.一种用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置，其特征在于：包括二次电子发射薄膜1、MCP模块3、二次电子约束模块、信号读出模块；所述二次电子发射薄膜1设置在束流2的入射路径上，且与束流2的入射方向存在夹角，二次电子发射薄膜1用于发射二次电子，其尺寸大于束流2在二次电子发射薄膜1上形成的束斑尺寸，二次电子发射薄膜1为导电材料；所述MCP模块3包括平行二次电子发射薄膜1设置在其轴向两侧的第一微通道板31和第二微通道板32，均用于对二次电子进行收集和倍增；所述二次电子约束模块包括磁场约束单元和电场约束单元；所述磁场约束单元包括平行于二次电子发射薄膜1轴线且分别设置在二次电子发射薄膜1和MCP模块3两侧的两个永磁铁5，两个永磁铁5相对设置，且永磁铁5的极化方向沿二次电子发射薄膜1的轴向设置；所述电场约束单元包括连接二次电子发射薄膜1的高压源6，用于向二次电子发射薄膜1加载可调负高压；所述信号读出模块包括束流强度测量单元41和束流剖面分布测量单元42，所述束流强度测量单元41连接第一微通道板31，用于对第一微通道板31出射面的电信号进行测量；所述束流剖面分布测量单元42对应第二微通道板32设置，用于获取第二微通道板32出射面的电信号，并将其转化为光信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西北核技术研究所 用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置及方法
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