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申请/专利权人：北京惠然肯来科技中心(有限合伙);惠然科技有限公司
摘要：本申请公开了一种基于法拉第杯测量电子束的方法及相关产品。所述方法包括：获取所述扫描电子显微镜扫描所述法拉第杯的杯盖表面所产生的电流曲线图，其中所述电流曲线图在所述扫描电子显微镜扫描经过所述环形入射孔时存在阶跃峰；根据所述阶跃峰的峰值确定所述扫描电子显微镜发射的电子束的强度信息；获取所述电流曲线图中的阶跃峰间距和所述环形入射孔的尺寸大小；以及基于所述阶跃峰间距和所述尺寸大小确定所述电子束的定位信息，其中所述电子束的定位信息可实现电子束对中。利用本申请的方案，可以在实现电子束强度测量的同时实现电子束的位置定位，从而实现自动电子束对中，极大地提升电子束的测量效率和测量精度。
主权项：1.一种基于法拉第杯测量电子束的方法，其中所述法拉第杯装配于扫描电子显微镜的镜筒内，并且所述法拉第杯至少设置有传输通路和位于杯盖表面的环形入射孔，所述方法包括：获取所述扫描电子显微镜扫描所述法拉第杯的杯盖表面所产生的电流曲线图，其中所述电流曲线图在所述扫描电子显微镜扫描经过所述环形入射孔时存在阶跃峰；根据所述阶跃峰的峰值确定所述扫描电子显微镜发射的电子束的强度信息；获取所述电流曲线图中的阶跃峰间距和所述环形入射孔的尺寸大小；以及基于所述阶跃峰间距和所述尺寸大小确定所述电子束的定位信息，其中所述电子束的定位信息可实现电子束对中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) 惠然科技有限公司 基于法拉第杯测量电子束的方法及相关产品
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