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申请/专利权人：东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要：本申请属于电子束检测技术领域，尤其是涉及一种法拉第杯及电子束检测设备。该法拉第杯结构包括杯体，杯体设有杯口通孔及杯腔；杯口通孔连通于杯腔，杯口通孔包括第一杯口孔段及第二杯口孔段，第一杯口孔段位于远离杯腔的一侧；杯腔在杯口通孔轴向上的投影至少覆盖杯口通孔，第一杯口孔段的孔径小于第二杯口孔段的孔径。其中，该杯口通孔为变径式结构，如此在降低电子束入射在杯口通孔内壁上风险的情况下，尽量减少电子逃逸至杯体外。
主权项：1.一种法拉第杯结构，其特征在于，包括杯体110，所述杯体110设有杯口通孔H及杯腔R；所述杯口通孔H连通于所述杯腔R，所述杯口通孔H包括第一杯口孔段H1及第二杯口孔段H2，所述第一杯口孔段H1位于远离所述杯腔R的一侧；所述杯腔R在所述杯口通孔H轴向上的投影至少覆盖所述杯口通孔H，所述第一杯口孔段H1的孔径小于所述第二杯口孔段H2的孔径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 法拉第杯结构及电子束检测设备
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