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申请/专利权人：江西圆融光电科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种载片装置，属于半导体加工技术领域，包括框形支架主体，所述框形支架主体内侧设有成对且对称设置的承载横杆，所述承载横杆上设有用于供晶圆放置的限位阶梯槽，所述限位阶梯槽沿承载横杆长度方向等间距排布，所述限位阶梯槽包括第一台阶和位于第一台阶一侧的第二台阶，所述第一台阶的高度小于第二台阶的高度。本实用新型可避免对晶圆正面的碰触，从而能够避免对晶圆正面的刮伤污染，提高了发光二极管良率。
主权项：1.一种载片装置，其特征在于：包括框形支架主体（1），所述框形支架主体（1）内侧设有成对且对称设置的承载横杆（13），所述承载横杆（13）上设有用于供晶圆（3）放置的限位阶梯槽（14），所述限位阶梯槽（14）沿承载横杆（13）长度方向等间距排布，所述限位阶梯槽（14）包括第一台阶（141）和位于第一台阶（141）一侧的第二台阶（142），所述第一台阶（141）的高度小于第二台阶（142）的高度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江西圆融光电科技有限公司 一种载片装置
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