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申请/专利权人：爱德华兹有限公司
摘要：一种真空泵（10），包括：转子（35），其可旋转地安装在定子内；所述转子包括沿从入口（26）到出口（28）的螺旋路径布置的多个成角度的叶片（30）；所述定子包括多个穿孔元件（14），所述多个穿孔元件形成多个穿孔盘，所述多个穿孔盘布置成在不同的轴向位置处与所述螺旋路径相交，穿孔允许沿所述螺旋路径行进的气体分子通过所述穿孔元件。所述穿孔盘中的每一个包括形成所述盘的外周界的外弯曲壁（16）和形成所述盘的内周界的一部分的内弯曲壁（18），所述内周界包括没有内壁的至少一个间隙。
主权项：1.一种真空泵，包括：转子，其可旋转地安装在定子内；所述转子包括沿从入口到出口的螺旋路径布置的多个成角度的叶片；所述定子包括多个穿孔元件，所述多个穿孔元件形成多个穿孔盘，所述多个穿孔盘布置成在不同的轴向位置处与所述螺旋路径相交，所述穿孔元件的穿孔允许沿所述螺旋路径行进的气体分子通过所述穿孔元件；其中所述穿孔盘中的每一个包括形成所述盘的外周界的外弯曲壁和形成所述盘的内周界的一部分的内弯曲壁，所述内周界包括没有内壁的多个间隙，其中，所述穿孔盘中的每一个包括至少两个穿孔元件，并且其中，所述多个穿孔元件中的每一个的所述内弯曲壁包括从所述内弯曲壁朝向所述外弯曲壁延伸的至少一个凹口，所述至少一个凹口包括所述内周界中的所述多个间隙中相对应的至少一个。
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