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申请/专利权人：江苏腾驰实业有限公司
摘要：本实用新型的一种硅片扩散用石英舟激光清洗设备，该激光清洗设备包括转盘机构和激光清洗机构；所述的转盘机构包括转盘、传动连接轴、转盘底座和旋转动力机构；所述的转盘水平设置且其顶面形成用于承载石英舟的石英舟承载面；所述的传动连接轴的上端固定在转盘底座的中部上，传动连接轴的下端通过轴承座固定在转盘底座的顶面中部上；所述的旋转动力机构安装在转盘底座上，该旋转动力机构的动力输出端与传动连接轴传动连接，以此驱动转盘自转；该石英舟激光清洗设备使用时，仅需要将石英舟放在转盘上，再通过旋转动力机构驱动转盘按一定的速度转动，并由激光清洗机构对转盘上的石英舟进行激光清洁即可，较以往人工抛光式清洁相比，清洁效率更高，清洁效果更好。
主权项：1.一种硅片扩散用石英舟激光清洗设备，其特征在于：该激光清洗设备包括转盘机构和激光清洗机构；所述的转盘机构包括转盘、传动连接轴、转盘底座和旋转动力机构；所述的转盘水平设置且其顶面形成用于承载石英舟的石英舟承载面；所述的传动连接轴的上端固定在转盘底座的中部上，传动连接轴的下端通过轴承座固定在转盘底座的顶面中部上；所述的旋转动力机构安装在转盘底座上，该旋转动力机构的动力输出端与传动连接轴传动连接，以此驱动转盘自转；所述的激光清洗机构位于转盘机构的上方，以此对转盘机构上的石英舟进行激光清洗；还包括对待清洗石英舟进行上料的直线输送机，其紧靠转盘边缘设置且在转盘旋转轨迹中位于激光清洗机构的前侧位置；还包括对清洗后石英舟进行浸洗的浸洗槽，其紧靠转盘边缘设置且在转盘旋转轨迹中位于激光清洗结构的后侧位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏腾驰实业有限公司 一种硅片扩散用石英舟激光清洗设备
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