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定位装置 

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申请/专利权人:深圳市联微半导体设备有限公司

摘要:本实用新型公开了一种定位装置,包括:检测组件,所述检测组件包括:壳体,设置有容纳腔以及与所述容纳腔连通的第一通孔和第二通孔,所述第一通孔和所述第二通孔相对设置,所述第一通孔用于与芯片对应,所述第二通孔用于与基板对应;第一光源,连接于所述壳体,所述第一光源的光线用于照射所述芯片,并在所述容纳腔中形成第一光路;第二光源,连接于所述壳体,所述第二光源的光线用于照射所述基板,并在所述容纳腔中形成第二光路;相机,设置于所述容纳腔中,所述相机用于接收所述第一光路的光线,以生成所述芯片的图像,以及所述相机用于接收所述第二光路的光线,以生成所述基板的图像。本实用新型的定位装置,能够具有较低的成本。

主权项:1.定位装置,其特征在于,包括:检测组件,所述检测组件包括:壳体,设置有容纳腔以及与所述容纳腔连通的第一通孔和第二通孔,所述第一通孔和所述第二通孔相对设置,所述第一通孔用于与芯片对应,所述第二通孔用于与基板对应;第一光源,连接于所述壳体,所述第一光源的光线用于照射所述芯片,并在所述容纳腔中形成第一光路;第二光源,连接于所述壳体,所述第二光源的光线用于照射所述基板,并在所述容纳腔中形成第二光路;相机,设置于所述容纳腔中,所述相机用于接收所述第一光路的光线,以生成所述芯片的图像,以及所述相机用于接收所述第二光路的光线,以生成所述基板的图像。

全文数据:

权利要求:

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